孔类零部件尺寸的测量方法有哪些 - 激光频率梳 3D 轮廓测量

摘要

本文针对孔类零部件尺寸测量需求，梳理传统测量方法，重点探究激光频率梳 3D 轮廓测量技术的应用。阐述该技术测量原理、系统构成与方法，通过案例分析其优势，为孔类零部件尺寸精密测量提供参考。

关键词

孔类零部件；尺寸测量；激光频率梳；3D 轮廓测量

一、引言

孔类零部件在机械制造中应用广泛，如发动机缸孔、轴承孔等，其尺寸精度直接影响设备性能。随着工业精密化发展，对孔类零部件尺寸测量的精度、效率要求日益提高。传统测量方法在面对高精度、复杂孔型时存在诸多局限，而激光频率梳 3D 轮廓测量技术为孔类零部件尺寸测量提供了新路径。

二、传统孔类零部件尺寸测量方法及其局限性

2.1 接触式测量方法

2.1.1 内径千分尺

基于三点定圆原理，理论精度达 1μm，属接触式测量。但测量时接触点位置选取具偶然性，结果难反映孔实际尺寸，且效率低、可测范围有限，不适用于批量检测。

2.1.2 塞规

精度最高达 1μm，可测孔径、评估圆度，通过能否穿过孔判断直线度。但属定性测量，无法给出具体数值，仅得范围，且不适用于盲孔。

2.1.3 三坐标测量机

可测孔的尺寸、圆度等多参数，加装加长测针可测一定范围孔。但受环境因素制约严格，对操作者技能要求高，检测效率和可测尺寸范围限制其在批量检测中的应用。

2.2 非接触式测量方法

2.2.1 视觉测量

通过光学镜头获取孔图像，经图像处理测量尺寸。适用于大孔径、浅孔测量，对小孔径、深孔测量时，因光线不足、景深限制，测量精度和分辨率不足。

2.2.2 超声波测量

利用超声波在介质中的传播特性测量孔尺寸，适用于一定深度孔测量，受介质特性影响大，测量精度波动，且无法获取孔的轮廓细节。

三、激光频率梳 3D 轮廓测量技术原理

激光频率梳是具精确频率间隔的光频源，频谱呈梳状结构，可作频率和时间测量 “标尺”。该技术基于光的干涉原理，发射的超短激光脉冲经分光分为测量光与参考光。测量光射向孔壁，反射光与参考光干涉，产生的干涉信号由光谱仪接收。通过处理干涉数据，利用光谱解算孔的尺寸参数，同时结合各梳齿干涉信息傅里叶变换，获取孔不同位置尺寸信息，实现 3D 轮廓测量。

四、激光频率梳 3D 轮廓测量系统设计与构成

4.1 光学系统

采用飞秒激光频率梳作为光源，重复频率稳定在 100MHz 量级，脉冲宽度小于 100fs。分光系统将测量光分为多束扫描光束，通过振镜扫描系统实现孔壁扫描，参考光路设置光学延迟线补偿光程差。

4.2 机械扫描机构

设计自定心式三维扫描装置，包含弹性支撑爪与步进电机驱动的轴向进给机构。弹性支撑爪可自动适应不同直径的孔，确保扫描机构沿孔轴线精确移动。

4.3 数据采集与处理系统

使用高速光谱仪采集干涉信号，通过现场可编程门阵列实时进行频谱分析。数据处理软件集成光频梳相位解算算法与三维轮廓重构算法，生成孔的 3D 轮廓模型及尺寸参数。

五、激光频率梳 3D 轮廓测量方法

5.1 系统标定

利用标准孔进行系统标定，调节参考光路延迟线，使干涉信号中心波长对准光谱仪最佳响应区间，校准扫描机构坐标零点，确保测量坐标系准确。

5.2 孔扫描测量

将扫描装置插入孔，弹性支撑爪自动定心后，启动轴向进给机构与振镜扫描。激光频率梳发射脉冲，采集干涉光谱数据。

5.3 数据处理与尺寸参数获取

对采集的干涉光谱预处理，利用光频梳频率标尺特性，将光谱数据转换为相位延迟信息，计算孔壁各点位置，重构 3D 轮廓模型，获取孔径、圆度、圆柱度等尺寸参数。

六、实验验证与优势分析

6.1 实验案例

对某型号发动机缸孔（直径 100mm，深度 200mm）进行测量，传统三坐标测量需 40 分钟 / 件，重复精度 ±50μm。采用激光频率梳测量方法，单次扫描时间 5 分钟，重复测量 10 次的标准偏差为 ±10μm，成功检测出孔壁局部 0.03mm 的尺寸偏差，指导加工调整后，发动机性能提升 8%。

6.2 技术优势

6.2.1 高精度测量

基于激光频率梳高相干性，测量精度达微米级甚至纳米级，满足高精度孔类零部件尺寸测量需求。

6.2.2 非接触式测量

无需与孔壁接触，避免损伤，降低测量对孔质量影响，适合表面质量要求高的孔测量。

6.2.3 快速测量与实时监测

可快速发射激光脉冲并采集数据，实现孔尺寸实时测量和加工过程监测，提高生产效率。

6.2.4 复杂孔适应性强

受环境因素影响小，可在恶劣工业环境稳定工作，能对复杂形状孔进行测量，获取全面尺寸参数。

激光频率梳3D光学轮廓测量系统简介：

20世纪80年代，飞秒锁模激光器取得重要进展。2000年左右，美国J.Hall教授团队凭借自参考f-2f技术，成功实现载波包络相位稳定的钛宝石锁模激光器，标志着飞秒光学频率梳正式诞生。2005年，Theodor.W.H?nsch（德国马克斯普朗克量子光学研究所）与John.L.Hall（美国国家标准和技术研究所）因在该领域的卓越贡献，共同荣获诺贝尔物理学奖。

系统基于激光频率梳原理，采用500kHz高频激光脉冲飞行测距技术，打破传统光学遮挡限制，专为深孔、凹槽等复杂大型结构件测量而生。在1m超长工作距离下，仍能保持微米级精度，革新自动化检测技术。

核心技术优势

①同轴落射测距：独特扫描方式攻克光学“遮挡”难题，适用于纵横沟壑的阀体油路板等复杂结构；

（以上为新启航实测样品数据结果）

②高精度大纵深：以±2μm精度实现最大130mm高度/深度扫描成像；

（以上为新启航实测样品数据结果）

③多镜头大视野：支持组合配置，轻松覆盖数十米范围的检测需求。

（以上为新启航实测样品数据结果）