【海翔科技】瓦利安 VARIAN 二手离子注入机圆盘 Implanter disk for G1510

摘要：本文围绕海翔科技提供的瓦利安 VARIAN 二手离子注入机圆盘（Implanter disk for G1510）展开，阐述其在离子注入机运行中的核心作用，介绍结构特点、功能作用、适配性与维护要求及二手设备优势，为相关行业应用提供参考。

一、引言

在半导体制造的离子注入工艺中，离子注入机圆盘是保障晶圆稳定传输与精准注入的关键部件。瓦利安（VARIAN）作为半导体设备领域的知名企业，其生产的 G1510 离子注入机配套圆盘以高精度和高可靠性著称。海翔科技提供的二手瓦利安 VARIAN 离子注入机圆盘，为有设备升级或维护需求的企业提供了经济实用的选择，在控制成本的同时保障生产质量。

二、设备结构特点

G1510 离子注入机圆盘采用高精度机械加工工艺制造，主体材质多为高强度铝合金或不锈钢，具备良好的耐磨性和抗腐蚀性，可适应离子注入过程中的高真空、强辐射环境。圆盘表面经过特殊处理，如硬质阳极氧化或镀膜，能有效降低晶圆与圆盘表面的摩擦系数，减少晶圆划伤风险。

圆盘边缘均匀分布着多个晶圆卡槽，卡槽尺寸与标准晶圆（如 8 英寸或 12 英寸）精准匹配，确保晶圆在高速旋转过程中不会发生位移或晃动。卡槽内侧通常设有弹性缓冲装置，可根据晶圆厚度进行微调，进一步提升晶圆固定的稳定性。圆盘中心配备高精度轴承与驱动轴连接，保证圆盘旋转时的同心度误差控制在微米级范围内。

三、功能作用

在离子注入过程中，圆盘的核心功能是实现晶圆的精准传输与定位。当晶圆由传送系统放置到圆盘卡槽后，圆盘开始匀速旋转，将晶圆依次送入离子束作用区域。通过精准控制圆盘的旋转速度与角度，可确保晶圆表面各区域受到均匀的离子注入，满足半导体器件对掺杂均匀性的严苛要求。

圆盘还承担着晶圆温度调控的辅助作用，部分型号的圆盘内部设计有冷却通道，可通过循环冷却液带走离子注入过程中产生的热量，防止晶圆因温度过高而发生变形或性能退化。同时，圆盘的高速旋转能形成稳定的气流环境，减少真空腔体内部杂质对晶圆表面的污染。

四、适配性与维护要求

该圆盘专为瓦利安 G1510 型号离子注入机设计，与设备的机械传动系统、真空腔体及控制系统具有高度兼容性，安装更换过程无需对设备主体结构进行大幅改造。二手圆盘在投入使用前需进行全面检测，包括同心度校准、卡槽尺寸测量、表面损伤检查等，必要时进行精密修复或部件更换，确保其性能参数符合生产要求。

日常维护中，需定期对圆盘表面进行清洁，去除残留的杂质与颗粒；检查卡槽缓冲装置的弹性性能，及时更换老化部件；对轴承等旋转部件进行润滑保养，延长设备使用寿命。通过规范的维护流程，二手圆盘可保持与新设备相近的运行稳定性。

五、二手设备优势

选择二手 G1510 离子注入机圆盘能显著降低企业的设备采购成本，相比全新部件可节省 30% - 50% 的费用，尤其适合中小型半导体企业或设备维修场景。海翔科技提供的二手圆盘均经过专业检测与翻新处理，性能指标达到行业标准，且配备完整的质量检测报告，为用户提供可靠的质量保障。此外，二手设备的供货周期较短，可快速响应企业的紧急维修或产能扩充需求，减少设备停机时间带来的损失。

海翔科技 —— 深耕二手半导体设备领域的专业领航者，凭借深厚行业积累，为客户打造一站式设备及配件供应解决方案。

在半导体前段制程领域，我们拥有海量优质二手设备资源，精准匹配芯片制造的关键环节需求；后道封装设备板块，丰富的设备品类覆盖封装全流程，助力客户降本增效。

我们还提供齐全的二手半导体专用配件，从核心部件到精密耗材，为设备稳定运行保驾护航。海翔科技，以多元产品矩阵与专业服务，为半导体产业发展注入强劲动力。

下载ZOL客户端，随时随地与大家交流 发表回复

验证码： 看不清楚？换一换

表情高级回复

回复