【海翔科技】现货 3 台二手离子注入机 LAM ICS-S 出售！整机 / 配件灵活拆售

引言

在半导体制造工艺中，离子注入机作为实现精密掺杂的核心设备，其技术性能直接影响芯片的电学特性与可靠性。LAM Research（泛林半导体）作为全球半导体设备领域的领军企业，其推出的 ICS-S 系列离子注入机在低能大束流工艺中表现卓越。海翔科技现持有 3 台二手 LAM ICS-S 离子注入机现货，支持整机采购与配件灵活拆售，为半导体产业链各环节企业提供高性价比的设备解决方案。

1. LAM ICS-S 离子注入机的技术特性

1.1 设备工艺定位与系统架构

LAM ICS-S 属于低能大束流离子注入机，束流能量通常小于 120keV，束流电流可达 10mA 以上，满足先进制程中源漏极轻掺杂、Smart Cut 穿透阻挡层等关键工艺需求。设备集成五大核心子系统：气体系统负责杂质离子（如 BF3、AsH3）的稳定供给；真空系统维持离子束传输所需的高真空环境（≤10-6Pa）；电机系统提供 ±1% 精度的高压直流电源，确保离子加速能量的稳定性；控制系统通过法拉第杯实现注入剂量（1013-1016cm-2）的亚微米级调控；射线系统作为核心模块，包含离子源、磁分析器（90° 偏转角度精度 ±0.1°）及二维扫描器，保证离子束均匀性误差＜2%。

1.2 关键零部件与兼容性优势

设备配件库涵盖 Vespel 绝缘环、Kel-F 夹具、Teflon 密封件等耐离子轰击材料部件（如 ICS-713-018426 型号 Vespel 环），可适配 6 英寸晶圆工艺腔的日常维护。其模块化设计支持与 LAM 其他系列设备（如 Endura pt）的零部件互换，显著降低产线停机成本。值得注意的是，该机型的离子分析器磁铁采用水冷式散热结构，相比传统风冷设计，可将磁通量波动控制在 ±0.5% 以内，提升长期运行稳定性。

2. 半导体制造中的应用价值与市场需求

2.1 工艺应用场景

在成熟制程（如 28nm 及以上）中，LAM ICS-S 可完成 PN 结形成、阈值电压调整等关键工序。以中芯国际 28nm 产线为例，每万片 / 月产能需配置 2 台大束流离子注入机，而长江存储 5 万片 / 月的 12 英寸存储产线已采购超 30 台同类设备。设备支持硼（B）、磷（P）等多元素掺杂，在功率半导体领域，通过氟（F）离子注入可优化 SiC 器件的击穿电压，使其提升至 1700V 以上。

2.2 二手设备的性价比优势

全球离子注入机市场规模预计从 2022 年的 21.77 亿美元增长至 2030 年的 35.75 亿美元，年复合增长率 6.4%，其中二手设备占比约 15%-20%。与全新设备相比，海翔科技提供的 ICS-S 机型价格仅为新机的 30%-50%，且关键部件（如离子源）剩余使用寿命≥8000 小时。以同类二手设备交易为例，Applied Materials VIISta 80HP 机型在二手市场成交价约为新机的 40%，而 LAM 设备因零部件通用性强，维护成本可再降低 15%。

3. 海翔科技的出售方案与服务支持

3.1 灵活拆售策略

针对不同客户需求，海翔科技提供三种交易模式：①整机采购：含设备安装调试、工艺参数校准（需额外支付 10% 服务费）；②核心部件拆售：可选离子源（型号 ICS-713-000032）、加速管（能量范围 5-120keV）等关键模块；③配件零售：涵盖密封件、电极组件等耗材（如 ICS-713-028487 Vespel 约束环），库存超 200 种零部件。

3.2 售后保障体系

所有设备经 12 项标准检测（含束流稳定性、真空度衰减率），提供 3 个月核心部件质保。对于批量采购客户，可免费获赠《离子注入机日常维护手册》（含 LAM 官方推荐的保养周期表），并享受工程师上门培训服务（限中国dl地区）。

海翔科技 —— 深耕二手半导体设备领域的专业领航者，凭借深厚行业积累，为客户打造一站式设备及配件供应解决方案。

在半导体前段制程领域，我们拥有海量优质二手设备资源，精准匹配芯片制造的关键环节需求；后道封装设备板块，丰富的设备品类覆盖封装全流程，助力客户降本增效。

我们还提供齐全的二手半导体专用配件，从核心部件到精密耗材，为设备稳定运行保驾护航。海翔科技，以多元产品矩阵与专业服务，为半导体产业发展注入强劲动力。