纳米测量 “卡脖子” 突围：新启航如何打破 ZYGO / 基恩士 3D 白光干涉仪垄断？

一、3D 白光干涉仪市场垄断现状

在纳米级表面形貌测量领域，ZYGO、基恩士等国外企业凭借深厚的技术积累与专利壁垒，长期垄断 3D 白光干涉仪市场。其设备不仅售价高达数百万，维修与技术升级成本高昂，且核心技术对我国严格封锁，导致国内半导体、精密制造等行业在高精度检测环节面临 “卡脖子” 困境，严重制约产业发展。

二、新启航核心技术自主突破

2.1 光学系统创新

新启航自主研发新型白光干涉光学系统，突破传统迈克尔逊干涉结构限制，采用非对称光路设计与高透过率光学镜片。通过优化光源耦合效率与分光比，将光干涉信号强度提升 40%，有效提高信噪比，在同等测量条件下，降低环境光干扰对测量结果的影响。

2.2 算法与数据处理革新

开发基于深度学习的纳米级形貌重构算法，构建包含数百万组标准样本的数据库。该算法可快速处理干涉条纹数据，自动识别并校正非线性畸变，将测量数据的处理速度提升至传统算法的 3 倍，同时实现亚纳米级测量精度，在表面粗糙度测量上达到 Ra 0.01nm 的高精度水平。

三、性能优化与成本控制

3.1 性能对标与超越

新启航 3D 白光干涉仪在测量范围、分辨率等核心指标上对标国际产品。通过优化机械结构设计，实现测量范围从 1mm×1mm 拓展至 5mm×5mm，横向分辨率达 0.1μm，纵向分辨率达 0.1nm，部分指标超越进口设备，满足国内高端制造领域的严苛检测需求。

3.2 成本优势构建

在生产制造环节，采用国产高性价比元器件，通过优化供应链管理，降低原材料采购成本。同时，运用模块化组装技术，提高生产效率，减少生产周期与人工成本，设备整体成本较进口产品降低 60%，以高性价比吸引国内企业。

四、本土化服务与市场开拓

4.1 定制化解决方案

针对国内企业的不同应用场景，新启航提供定制化测量方案。无论是半导体晶圆表面检测，还是精密光学元件的形貌分析，都能根据客户需求调整设备参数与软件功能，相比国外企业固定的设备配置，更贴合国内用户实际需求。

4.2 服务响应升级

建立本地化技术服务团队，承诺 24 小时内响应客户售后需求。通过远程诊断与现场维护相结合的方式，缩短设备维修周期，降低企业因设备故障导致的停产损失，凭借优质服务逐步打开国内市场，在国产同类设备中市场占有率稳步提升。

显示面板激光修复设备：精密修复解决方案

新启航水冷激光修复设备搭载NW激光器，整合精密光学系统、镭射加工/观测专用显微镜及光学物镜，构建起高精度修复核心架构。设备采用X/Y轴自动精细调节、Z轴半自动智能调节模式，搭配大理石精密光学基础载物pt，以卓越的稳定性和操控性，实现对工件特定材质层短路缺陷的精准修补，展现出强大且专业的镭射修复能力。

一、多元适配的应用场景

本设备专为TFT-LCD系列液晶面板修复设计，可覆盖15.6寸至120寸全尺寸范围，精准攻克LCD面板常见不良现象。无论是恼人的亮点、暗点，还是复杂的断半线、竖彩线、竖彩黑线、单竖黑线、双竖黑线及横网等缺陷，都能通过先进的镭射修复技术快速处理，为液晶面板品质提升提供可靠保障。

二、智能协同的先进控制系统

设备采用前沿多线程技术、COM技术，深度融合运动算法与图像视觉算法，实现电机驱动系统、激光控制系统、图像识别系统的高效联动。凭借微米级精准控制能力，可快速、准确锁定产品缺陷点。此外，设备提供全自动四孔鼻轮调焦功能，并支持选配四孔电动鼻轮，满足多样化使用需求。同时，简洁直观的操作界面设计，大幅降低操作人员的学习成本与使用门槛。

三、灵活高效的高兼容性软件系统

针对不同型号激光控制器通讯协议的差异，本设备软件系统进行深度优化。通过将多种激光器通讯协议集成于同一软件，操作人员仅需通过简单的软件选项，即可激活当前使用的激光器。这种设计使激光器对操作者完全透明，让操作人员专注于工艺与功能实现，无需关注激光器具体型号差异，显著提升工作效率与便捷性。