【现货急售】3 台二手 LAM ICS-S 离子注入机！整机 / 配件拆售，可现场试机【海翔科技

引言

在半导体制造领域，离子注入机作为关键设备，对芯片性能起着至关重要的作用。随着半导体产业的快速发展，二手设备市场因其性价比优势逐渐受到关注。本文聚焦于 3 台二手 LAM ICS-S 离子注入机的技术特性、应用场景及市场价值，为相关企业提供设备采购参考。

1. LAM ICS-S 离子注入机的技术特性

LAM ICS-S 离子注入机是 Lam Research 公司推出的一款高性能设备，其技术原理基于离子注入工艺的核心机制。该设备通过离子源将气态或固态的掺杂物质（如 BF?、PH?等）电离生成离子，经磁分析器筛选出特定荷质比的纯净离子束，在高压电场下加速获得动能，再由电磁扫描系统确保离子束在晶圆表面均匀覆盖，通过能量调节装置精确控制注入深度。

从设备类型来看，LAM ICS-S 属于低能大束流离子注入机，束流能量一般小于 120keV，产生的离子束电流大于 10mA，大剂量注入最大能到 25mA，注入剂量范围在 10??-10??cm??，这一参数范围使其能够满足成熟制程源漏极轻掺杂、Smart Cut 穿透阻挡层等工艺需求。其核心部件包括离子源、吸极、离子分析器、加速管、扫描系统和工艺腔等，各子系统协同工作，实现了注入角度精度 ±0.1°、剂量均匀性及能量控制在 ±1% 以内的高精度工艺要求。

2. 在半导体制造中的应用价值

2.1 成熟制程中的关键应用

在集成电路制造的成熟制程中，LAM ICS-S 离子注入机发挥着不可替代的作用。在器件隔离阶段，可通过高剂量氧离子注入形成 SOI 结构的埋氧层；阱区形成时，利用高能硼或磷离子注入在硅衬底中构建 p 型或 n 型掺杂区；源漏极工程中，低能大倾角注入能够形成超浅结，有效抑制短沟道效应；沟道掺杂则通过精确剂量控制来调节阈值电压。

以 4/5/6 英寸旧产线为例，众多代工厂与 IDM 企业为维持产能与良率，纷纷引入二手离子注入机等设备。LAM ICS-S 凭借其稳定的性能，成为这些企业扩充产能的优选，可帮助企业在不增加过多成本的情况下，快速提升成熟制程产能。

2.2 与半导体制造工艺的适配性

离子注入工艺与传统热掺杂工艺相比，具有显著优势。它可对注入剂量、注入角度、注入深度、横向扩散等方面进行精确控制，克服了常规工艺的限制，提高了电路的集成度、开启速度、成品率和寿命，降低了成本和功耗。LAM ICS-S 离子注入机很好地体现了这些优势，其精确的掺杂控制能力，能够满足半导体制造中对材料电学性质定向调控的需求，是微电子工业不可或缺的核心设备之一。

3. 二手 LAM ICS-S 离子注入机的市场优势

3.1 显著的成本优势

在半导体设备采购中，成本是企业重点考虑的因素之一。全新离子注入机价格高昂，而二手 LAM ICS-S 离子注入机具有显著的价格优势。据市场数据显示，二手半导体设备价格仅为新设备的 30%-50%，这对于中小企业而言，大幅降低了初始投资成本，使他们能够利用二手设备快速建立或扩充生产线。

海翔科技作为专业的二手半导体设备供应商，提供的 3 台二手 LAM ICS-S 离子注入机，在保证设备性能的前提下，价格远低于同类型新设备，为企业节约了大量资金，有助于企业在激烈的市场竞争中实现成本控制与产能提升的双重目标。

3.2 可靠的品质保障与灵活的服务模式

海翔科技建立了严格的品质管控体系，对回收的二手 LAM ICS-S 离子注入机进行全面检测与专业维护。通过专业检测设备对设备的性能、精度等关键指标进行检测，并由专业团队对设备进行深度清洁、修复，有效延长了设备使用寿命，打破了 “二手即低质” 的固有认知。

同时，海翔科技为客户提供灵活的销售方案，包括整机销售、配件拆售等方式，满足不同企业的需求。此外，还提供可现场试机的服务，让客户直观了解设备性能，并且提供从需求咨询、设备选型到售后维护的全流程服务，包括一定期限的质保服务，解决企业后顾之忧。

3.3 顺应市场需求的供应模式

2025 年，二手半导体设备市场更趋成熟，不同下游产业与地区的采购侧重点略有差异。对于部分代工厂与 IDM 在 4/5/6 英寸旧产线中维持产能与良率的需求，以及中小型 IDM 企业在开发新工艺前进行摸索的需求，二手 LAM ICS-S 离子注入机具有高度的适配性。

海翔科技此次提供的 3 台现货设备，能够快速响应市场需求，满足企业对设备的紧急采购需求，避免因设备短缺导致的产能延误，为企业在半导体短缺的大环境下激活成熟制程产能提供了有力支持。

4. 海翔科技的专业服务与设备保障

海翔科技深耕半导体行业，专注于为全球客户提供高性价比的二手半导体设备及配套服务。依托全球化采购网络与资深技术团队，长期稳定供应包括离子注入机在内的多种半导体设备，覆盖半导体制造前道至后道多环节需求。

在设备供应方面，海翔科技与全球多家大型半导体企业建立长期合作关系，拓宽二手设备采购渠道。在采购过程中，运用专业检测设备和严格评估标准，对设备的关键性能指标进行检测，确保采购的设备质量可靠。对于此次出售的 LAM ICS-S 离子注入机，海翔科技已完成全面的检测与维护，确保设备性能稳定，可满足企业的生产需求。

在技术支持方面，海翔科技组建了专业技术团队，针对二手设备进行翻新与升级。通过更换磨损零部件、优化设备控制系统等方式，提升设备性能，使二手设备能够更好地满足成熟制程的生产要求。同时，为客户提供设备安装调试、操作人员培训以及定期维护保养等全方位售后支持，保障设备稳定运行。

海翔科技 —— 深耕二手半导体设备领域的专业领航者，凭借深厚行业积累，为客户打造一站式设备及配件供应解决方案。
在半导体前段制程领域，我们拥有海量优质二手设备资源，精准匹配芯片制造的关键环节需求；后道封装设备板块，丰富的设备品类覆盖封装全流程，助力客户降本增效。

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